2026.09.26 | AC | Materials | MFC Concept Stocks

摘要

1. MFC受益该看采购还是产品，而非收入占比；
2. 正帆、富创、先导基电的MFC是外购件还是自研；
3. 毛利率能否印证外购与自研的分层；
4. 气路翻倍的新增价值落在集成层还是本体层；
5. 国内谁真正卖MFC本体，三家能否合并估值。

质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）是半导体制造设备中的核心气体控制元件。在刻蚀、薄膜沉积（如CVD、ALD）等前道工艺中，它能够精确测量并实时调节进入反应腔体的特种气体流量，其控制精度与响应速度直接决定了薄膜沉积厚度均匀度、刻蚀形貌等关键工艺指标，是保障晶圆良率的重要零部件。

> 先进设备的气路条数翻倍，MFC的用量与单价同时上升。但正帆科技、富创精密、先导基电的年报里，MFC都是买进来的物料。这使得增量放大的是它们的收入与采购额，毛利率没有跟着上行。其中，高凯技术的半导体流量控制业务直接受益，而正帆的气柜模组业务则因MFC属于外购件，增收不增利。

一、分辨MFC受益者，看采购还是产品，不看收入占比

一台先进刻蚀设备需要独立控制的气路，已经从数年前的约30条增加到60至100条。原子层沉积设备的条数还要多一些，已从30至50条增加到80至100条，多的超过100条。每一条气路都要配一只质量流量控制器，也就是MFC。所以气路翻倍，MFC的用量也跟着翻倍，这一点没有争议。有争议的是，这笔增量最后记进了谁的报表。

市场给出的答案是气柜模组的集成商。逻辑很直接：气路变多，气体输送系统的订单变大，做气柜模组的公司随之受益。于是正帆科技、富创精密、先导基电（原万业企业）被一并归入MFC国产替代的受益名单。这条推理的前半段成立，因为订单确实在变大。但后半段需要单独检验，因为订单变大不等于利润变大，关键要看MFC在这些公司里是什么角色。

检验的时候，市场常用的指标是MFC收入占比，但这个指标在两端同时失准。一方面，真正做MFC本体的公司，MFC收入占比可以很低。高凯技术2023年至2025年半导体应用收入占主营业务收入的比例分别为4.20%、17.49%和21.91%，主力一直是点胶封装。另一方面，集成商把整箱气柜模组计入设备零组件收入，相关收入占比可以做得很高。这使得按收入占比排序，会把买家排在卖家前面。

所以本文的第一道筛换一个标准：MFC在这家公司的成本表上，是流进来的，还是流出去的。买进来的MFC先计入存货中的原材料，最终进入营业成本；卖出去的MFC才计入营业收入。这个标准有两个好处。第一，它完全落在年报与招股说明书原文上，不依赖调研也能复核。第二，它直接对应本文要回答的问题，也就是气路翻倍多出来的那笔钱停在哪一层。下面先用这个标准检验被市场归为受益者的三家集成商。

二、正帆、富创、先导基电的年报里，MFC都是外购件

正帆科技在年报里把气柜模组的构成逐件列出，质量流量控制器与其他外购件并列。按其年报披露，气柜模组包含手动与气动截止阀、逆止阀、质量流量控制器、压力调节控制器、高精密过滤器、垫片、镀银螺帽等组件，已向新凯来、北方华创、拓荆科技、中微公司、微导纳米等设备厂批量供货，业务主体是控股子公司鸿舸。正帆的零部件自研确实在推进，但从公开披露看，落点在高纯阀门、管件、减压阀与接头，MFC不在其中。公开报道也显示，其气柜模组所用的MFC主要来自日本堀场。所以正帆的核心能力在另一件事上：按客户的腔体工艺为数十条气路做流体仿真，再完成轨道焊接与氦质谱检漏。MFC是这套工序的输入项，不是产出项。

富创精密的产品目录里，与MFC直接相关的只有“流量计底座”，也就是MFC的安装基座。公司把产品划为机械及机电零组件与气体传输系统两大类。气体传输系统包括气柜与气体管路，实物是超高纯管路、焊接阀组与气柜结构件；机电零组件里出现的则是流量计底座。在表面贴装式的气路结构下，MFC用螺栓固定在一块开有精密流道的金属基座上。基座的加工精度与流道抛光都有门槛，但它承载的只是流体通道，不含传感、驱动与闭环控制。按富创2025年的公告，公司通过投资间接持有Compart Systems约21.58%股权，补强的同样是气体传输这一段，没有延伸到MFC本体。

先导基电旗下的Compart Systems，公开定位写得很清楚：做的是组装与零部件。2020年12月，当时的万业企业领头财团收购Compart。公开资料把Compart定位为气体输送系统领域的零组件及流量控制解决方案供应商，主要产品包括BTP组件、装配件、密封件、气棒总成、MFC与焊接件，并特别注明它是全球少数能做MFC组装的公司之一。然而组装与设计是两件事。MFC的核心是流量传感器、控制电路与比例阀三者组成的闭环，Compart掌握的则是超高洁净环境下的精密加工、密封与总成能力，也就是把别人设计好的MFC装配出来。把它等同于本体商，等于把制造环节的价值当成了研发设计环节的价值。

三家公司的披露指向同一个结论：MFC对它们是外购件，不是产品。至于菲达环保、雪迪龙、苏试试验这类在财报里查不到半导体级MFC研发开支与产能投入的公司，连外购件这一层都不涉及，不构成讨论对象。不过，披露措辞只是第一组证据，它可能受披露习惯影响。要确认这个判断，还需要一组与措辞无关的证据，这就是毛利率。

三、毛利率差一个量级，集成商拿不到MFC的利润

如果MFC是自研产品，集成商的毛利率就不会停在现在的水平。全球气柜模组集成这门生意的盈利区间是可以观察的。按Ichor的业绩公告，其2025财年营业收入约9.48亿美元、同比增长11.6%，综合毛利率却只有9.3%，非GAAP口径为12.2%；2024财年这两个数分别是12.2%和12.7%。正帆科技2026年中报营业收入22.30亿元、同比增长10.56%，综合毛利率18.31%、同比下降5.40个百分点，归母净利润亏损约0.50亿元，由盈转亏。公司的解释是前期签署的低毛利订单仍在逐步交付。作为对照，高凯技术2023年至2025年的综合毛利率分别为51.14%、54.34%和58.54%。两组数字差的不是几个百分点，是一个量级。

另一处需要看的是方向：两家集成商都出现了收入增长而毛利率下行的组合。正帆2026年中报的半导体业务收入占比已提升至约70%，新签订单中半导体占比约77%，业务结构在明显改善，毛利率却在下降。Ichor 2025财年收入增长11.6%，GAAP毛利率同样由12.2%降至9.3%。两家公司的具体原因各有不同，但指向同一个结构特征。在集成模式下，收入随气路条数同步放大，而放大的收入中包含了同步膨胀的外购件采购额，MFC是其中单价最高的一项。外购物料占营业成本的比重上升，毛利率随之被压低。据此推算，气路条数翻倍对集成商的意义主要是收入规模扩大，利润的绝对额没有同比例增加。

这组证据与上一节的披露原文证据互不依赖，两者指向同一个结论。披露措辞可能因披露习惯而失真，毛利率可能因会计口径而失真，但两者恰好在同一个方向上失真的概率很低。所以本报告认为，可以确认集成商不是MFC增量的主要受益方。接下来的问题是，这笔增量按什么结构分配，最后停在哪里。

四、气路翻倍的新增价值，主要落在MFC本体上

一条气路的配置是固定的：一种气体对应一条管、一只阀和一只MFC，彼此不能共用。这是前道气体输送的基本约束，单只MFC只能走一种气体。所以气路条数与MFC只数在工程上是同一个数。这使得增量的分配方式可以直接推算。条数从30条增加到100条，MFC的只数同步增加，管路与阀的件数也同步增加。但三者的单价基数相差很大，同样的倍数落在不同零件上，带来的金额完全不同。

MFC是一条气路上最贵的零件。调研显示，单只高端MFC的价格约为数十万日元，折合人民币大致在1.2万至3万元之间。管路本身的单价基数很低，阀的件数虽多，单价也明显低于MFC。一条气路的总成本在数十万日元到接近百万日元之间，其中MFC占主要部分。粗略估算，MFC约占一台前道设备价值量的2%。这个比例不高，但它决定气体控制的精度，是影响设备良率的关键零件之一。

价格的变化方向同样不对称。业内大多预计未来五年MFC单价上行20%至30%，面向下一代制程的高精度型号有可能升至百万日元级别。管路单价也在上涨，因为不锈钢管内壁的表面粗糙度已经影响到颗粒控制与流量稳定。但管路的基数低，涨价带来的绝对金额有限。

量和价的两项增量落在同一个零件上，承接这两项增量的只能是卖这个零件的一方。集成商拿到的是更多焊缝与更多检漏工时，这部分工作按工时计价，不随MFC单价上行而重估。缺乏上游定价权时，中游的产能堆砌不创造价值。MFC这一轮是同一规律在设备零部件上的再现。

往后看，MFC本体的附加值还会继续提高。目前的方向是把气体流量、腔体压力与温度这些单位不同的参数放进同一套计算回路，统一反馈、实时寻找最优工作点，行业称之为先进过程控制。一旦这套方法被主流设备平台纳入标配，MFC内部的算法与通信协议会成为新的附加值来源。而这部分价值只有掌握传感器与控制电路的一方能够获得。笔者判断，集成商与本体商之间的差距还会进一步拉开。这也把问题推到下一步：国内真正能卖MFC本体的有哪几家。

五、卖MFC的只有三家，而且不能放在一起估值

北方华创的MFC业务放在子公司北京华丞电子，是国内资历最老的一支。华丞电子2024年由七星华创流量计等业务单元整合更名而来，公司公开提及其在流量测控领域有超过40年研发历史，产品覆盖热式与压力式两条路线，主要对应成熟制程的刻蚀与薄膜设备。2026年9月的行业年会上，北方华创管理层公开表示，针对电源匹配器、MFC、石英件这些曾经依赖海外的零部件，已联动国内上下游共同开发与联合验证，实现大批量产导入。这句话的落点是导入，不是销售。华丞的MFC收入不单独披露，它对北方华创的意义在于提高零部件自制率、降低整机成本，目前还不是一条可以单独定价的业务线。

高凯技术走压电路线，是按收入单列口径唯一能在报表上看到MFC本体的公司。公司以压电驱动与精密流体控制为底层技术，2021年做出国内首款半导体级压电式MFC。招股说明书显示，2023年至2025年营业收入分别为2.26亿元、4.23亿元和5.11亿元，归母净利润分别为0.26亿元、1.00亿元和1.33亿元。其中，半导体流量控制产品收入从2023年的943.32万元增至2024年的7371.18万元，2025年达到1.11亿元；流量控制系列2025年约占主营业务收入的26.31%。本体属性已经被报表确认。但有两处需要看清。第一，半导体应用收入占比只有21.91%，点胶封装仍是主力。第二，2025年前五大客户合计占比52.76%，其中两家半导体设备客户豁免披露名称。

万讯自控走压差式路线，目前还处在验证阶段。其技术取向与Brooks同源，相关产品正在国内客户处验证，还没有形成收入，这一进展也还没有得到公司的正式披露。另外需要说明的是，恒运昌披露截至2025年年底，其MFC MEMS传感器已完成初样流片并搭载测试平台。但那是传感器芯片这一层，还不是完整的MFC本体。所以本文说的三家，指的是报表上能看到的本体商。

三家公司替代的是三段不同的需求，这决定了它们不能放在一起估值。华丞对应成熟制程的用量，高凯对应先进制程对瞬态响应的严格要求，万讯的切入点靠近厂务系统与成熟制程。三条路线的物理特性也不同。热式在响应速度上有上限；压电式用陶瓷形变控制阀门开度，响应可以做到毫秒级；压差式在压力波动的场景下另有优势。如果把三家加总成一个“国产MFC”的市场规模，会把三段互不重叠的需求重复计算。三条路线里，压电式还有一个特点：它把一部分价值继续传到了上游材料。

六、压电陶瓷值钱的是验证位置，“占成本四成”被放大了

压电式MFC的驱动件是多层压电陶瓷叠堆，这一环节目前由日德厂商主导。星源材质2026年2月受让邦瓷电子13.5%股权，8月再受让59.98%，合计持股约73.48%，邦瓷成为其控股子公司并纳入合并报表。邦瓷的主要产品是多层压电陶瓷堆叠与单层压电陶瓷片，对应压电式MFC比例阀的执行部件。这是本轮MFC产业链里少数能从报表上确认的上游环节。

但市场流传的“压电陶瓷约占MFC成本四成”，需要先看清分母。这个比例目前只见于行业测算，没有厂商或第三方口径可以印证。另外，即便这个比例成立，它对应的也只是压电式MFC的单机制造成本，热式与压差式MFC根本不用压电陶瓷。如果把它当成整个MFC行业的成本结构，会把这块材料的可寻址市场放大一到两倍。粗略估算，即便压电路线在先进制程设备上全面铺开，它在全部MFC出货中的占比在几年内也到不了一半。

邦瓷真正值钱的是验证位置，不是这个百分比。邦瓷已进入头部MFC厂的验证体系，相关产品处在寿命循环测试阶段，还没有披露定点订单。笔者在前序报告中讨论过材料端截留利润的机制，压电陶瓷与那篇里的离型膜有一处本质差别。离型膜覆盖全部MLCC产线，利润截留是连续的。压电陶瓷只覆盖三条技术路线中的一条，价值在验证通过之前接近于零，通过之后才开始体现。所以它属于节点型价值，要看验证结果落地的时间。至此，气路翻倍多出来的钱落在哪里已经清楚：大部分落在本体层，其中压电路线再分出一部分给上游材料，集成层拿到的是工程量。

七、投资含义

三层公司赚的是三种不同性质的钱，估值方法不能混用。集成层的参照系是同类集成商的盈利区间与订单节奏，本体层看的是国产化率、单机用量与单品售价，材料层看的是验证节点。把本体层的国产化率曲线套在集成层身上，在估值上是错位的。

对正帆科技、富创精密、先导基电来说，去掉MFC这个标签，基本面不会变差，变的只是估值依据。正帆的增长来自电子特气与前驱体，以及阀门管件的自制替代；富创的增长来自精密机加与表面处理，以及通过Compart补齐的气体传输系统；先导基电的价值在Compart的超高洁净组装产能与全球客户结构。这三块业务都是实的，但都不随MFC单价上行而重估。需要留意的是，气路条数翻倍会同时放大它们的收入与外购物料成本，两者方向可能相反，收入增长未必带来毛利率改善。

高凯技术的问题已经从“是不是MFC”变成了“半导体收入占比与毛利率能否同时上行”。如果占比上行而毛利率回落，说明它拿到的是缺货窗口的价格，不是供应链里的位置。如果两者同向，本体逻辑才算被报表确认。北方华创的MFC价值体现在零部件自制率上，不构成独立的估值条线。万讯自控的MFC业务还没有收入，价值取决于验证结果，目前无法用财务指标定价。星源材质的压电陶瓷业务由验证结果与定点订单驱动，在验证落地之前，对公司整体经营的影响有限。

国产化的节奏要放在验证框架里看，不会线性推进。决定国产化速度的一个关键因素是验证门槛的结构。MFC是这类品类的极端形态：它同时要通过设备厂与晶圆厂两道认证，而且直接影响工艺窗口与良率。所以国产化率不会平滑爬坡，而是按一家客户、一款型号、一个制程逐级跳升。估算显示，国内MFC的国产化率2025年不足3%，市场仍由日美厂商主导。按问可汇的统计，全球半导体用MFC销售额2026年约86.38亿元，预计2033年约147.91亿元，2026年至2033年复合增速约7.99%。市场规模在稳步扩大，但竞争格局受验证周期约束，短期内不会被快速改写。

上行风险集中在需求与供给两端同时收紧。先进制程的气路条数上行快于预期；海外厂商交期再度拉长，推动设备厂加快导入国内供应商；高凯的半导体业务放量早于常规验证节奏。

下行风险集中在分层判断本身被改写。集成商向上游自制MFC，本文的分层标准随之失效；高凯毛利率向同行平均水平回归；压电路线在部分制程被热式或压差式方案替代，压电陶瓷的节点价值被稀释；海外交期恢复正常后，国产导入的窗口收窄。

以上内容不构成任何投资建议，请风险自担。