2026.10.10 | 9K | SemiCap | ASML Expert: EUV Shipments 2026-28

摘要

ASML EUV预计2026至2028年由约60台增至110台，DUV由约130台增至180台。洁净室、零部件及工程师培训使2028年上修空间有限；台积电消化约一半EUV产能，中国区贡献近半DUV需求，全系列设备涨价并推动服务收入继续增长。

要点

1. ASML EUV出货规划为2026年约60台、2027年约90台、2028年约110台，2026至2027年的近50%增长包含原有冗余产能释放，90台增至110台才更接近约30%的扩产速度
2. 2026年约60台EUV与130台浸没式DUV可同时交付，EUV极限或达70台但工程师loading过高；DUV预计2027年150到160台、2028年约180台，独立供应链和装配团队使EUV扩产短期不会明显挤占DUV
3. De Run扩建产能预计2027年全部释放，BIC North可能到2028年正式投用，两处园区届时合计支持约110台EUV；受洁净室、零部件、基础设施及至少1年的工程师培训周期限制，120台接近极限，150台较难实现
4. 2026年约60台EUV中台积电获得约30台，其余主要由三星、海力士和美光分配；全年约130台DUV中中国区占50多台到60台，27年中国区60台较确定、70台可展望，但80台可能性不大
5. 2026年新下Purchase Order已执行全系列涨价，中国区约上涨10%，三星、海力士实际上涨7%到8%，英特尔和美光接近该幅度，台积电因消化约一半EUV产能且长期采购稳定而未涨价
6. 售后服务收入目前可能占整体营收约30%，较早期约20%明显提升，设备保有量增加及零部件涨价将推动其稳步增长，后续每年提高1到2个百分点具备合理性

Q:请介绍ASML从今年到2028年的EUV和DUV产能规划。公司提到EUV产能将以约30%的速度扩张，这种扩张是否会挤占DUV产能？

A:按照此前电话会的说法，今年的目标是60台，2027年应该达到90台左右，2028年可能达到110台，大致是这样的规划。现阶段并不存在EUV挤占DUV产能的情况，因为EUV和DUV的供应链及零部件并不通用，零部件供应方面基本不存在挤占；E UV和DUV的装配人员也是两套团队，不会相互挤占。

荷兰ASML本部的装配工厂采用平层设计，内部是大型洁净室，并使用可移动挡板，因此洁净室可以按照规划在EUV和DUV之间进行分配。如果EUV业务非常好，洁净室可能优先分配给EUV。不过，近两年荷兰也在扩建洁净室，本部一期洁净室已经基本扩建完成。从现在及2027年的情况看，洁净室本身并不紧张，不会因为EUV出货增加而挤占DUV产能。到2028年或更晚，如果EUV订单大幅超预期，EUV在洁净室分配上可能获得更高优先级，DUV产能会相对减少一些，但减少的数量应该不会很多。

从销售经济性看，EUV设备的价格大约是浸没式DUV设备的两倍，但一台EUV设备实际会占用约三台DUV设备所需的洁净室空间。为了多销售EUV而大量挤占DUV产能，在销售层面并不划算。因此，公司应该不会大规模挤压DUV产能。EUV和DUV近两年销售情况都比较好，也不存在因为DUV销售不佳而主动减产的情况。

Q:关于今年的EUV出货量，公司有60台和65台两种说法，哪一个数据更准确？

A:两个数字相差不大。公司统计60台或65台，有时与客户签收时间有关。例如，设备在今年第一、第二季度发给客户，但客户年内没有签收，可能就不会计入当年目标。更倾向于按60台计算，因为65台只是目标，今年尚未结束，能否达成还不能保证；60台是发货数量，相对更加确定。

Q:如果今年约60台、明年接近90台，增幅已经接近50%，这与公司所说的约30%产能扩张率有何差异？

A:这与近两年的AI发展有关。在AI需求尚未形成明显推动时，EUV销售没有现在这么好，2025年整体大约只有40多台，今年直接达到60台，销售增速约50%。但去年销售45台时，荷兰工厂的实际产能已经高于45台，极限产能可能已经达到60台或更高。也就是说，从2026年的60台到2027年的90台，包含了原有冗余产能的释放。今年荷兰本部厂房已基本建成，可以腾出更多洁净室；ZEISS SMT的光学工厂也完成了扩产，因此今年相较去年、明年相较今年都会有较大提升。等这部分产能释放后，继续优化和提升产能的速度会放缓，例如从90台增至110台，可能才是约30%的增速。

Q:2025年EUV出货约45台，今年约60台。以目前情况看，2026年的实际产能和极限产能分别大约是多少？

A:工厂没有按照极限标准正式测算过产能。今年交付60台EUV没有问题，同时约130台DUV也能够交付。如果一定要估算极限，70台EUV可能也可以交付，但那样工厂的loading，尤其是工程师的loading，会非常高。装配一台EUV的正常周期约为3个月，而且这已经是在两班倒或三班倒的情况下，继续压缩工期的空间非常有限，人员配置也会十分紧张。这种状态不利于长期发展，压力过大还可能导致离职等问题。因此，60台左右是产能较满、loading相对正常且仍保留一定冗余的状态。

Q:DUV未来几年的产能规划大概是什么水平？

A:去年和今年基本持平，均为约130台；明年约150台，后年约180台，财报中的说法大致如此。DUV整体规划是每年增加约30台，提升节奏相对稳定。增速不像EUV那么大的原因，一是需求，二是公司战略层面的优先级仍然以EUV为先，因此DUV相对靠后。不过只看数量，DUV仍然很多。今年约130台，明年可能在150到160台区间。

Q:除浸没式设备外，KrF、i-line等产线的产能还会增长吗？

A:这些产线增加产能相对容易，不像浸没式设备那么复杂，工厂内的装配周期不到1个月，组装线也相当成熟，因此扩产并不困难。主要问题在于需求。KrF和i-line主要用于成熟制程或较低端制程，先进工艺对这些设备的需求不强。全球大客户手中的KrF及更老的i-line设备保有量已经很多，因此新增需求不大。近两年购买这类设备较多的主要是中国客户，海外销售据专家了解相对一般。先进工艺进入10纳米以下后，以中国市场为例，基本是TWINSCAN NXT:1980与KrF按1:1配置；而在28纳米制程中，浸没式ArF与KrF可能按1:4或1:5配置，因此中国市场对KrF的需求也相对减少。这也是KrF没有大规模扩产的原因:现有产能并不短缺，如果确实需要增加销售，产能也能够配合。

Q:Cymer、Trumpf以及ZEISS SMT等供应商的激光器和光学系统配套产能，能否跟上EUV、DUV未来两年约30%的扩产？

A:可以分两部分看。Cymer被收购后，基本只为ASML供应光源，不需要再向其他厂商供货，因此激光器配套产能能够跟上。如果存在短缺，可能来自更上游的个别零部件，但相关市场本身较为小众，专家个人判断也不太短缺。EUV设备只有ASML一家供应，Cymer仅向ASML供货；DUV方面，即使Cymer无法完全满足需求，还有日本Gigaphoton可以供应，因此DUV所需的193纳米准分子激光器更不容易短缺，供应商并非只有一家。

第二部分是ZEISS SMT的光学透镜。ZEISS SMT前些日子在德国收购了产线，本身也完成了部分扩产，尤其在EUV方面正在大力扩产。DUV方面，由于2023年、2024年的整体需求不高，扩产相对保守，目前DUV光学模组的供应没有预想中那么充足。不过，新工厂已经收购并处于扩产阶段，专家相信明后年产能会逐步释放，配合光刻机约30%的增速应该没有太大问题。

Q:如果EUV需求进一步超预期，上述激光器、光学镜头及其他零部件的产能还能跟上吗？

A:零部件方面无法保证，因为这类产能并非想加快就能立即加快。公司此前给出的口径已经比较乐观，2027年应该没有问题；但到2028年，如果仍要求保持30%的增速，零部件可能不够用，实际增速也可能只有25%。订单可能更多，但实际产出不太可能超过现有规划。洁净室方面，De Run扩建完成后，BIC North新规划的土地和场地基本也要到2028年才能投入使用，目前没有更进一步的新洁净室扩产信息。因此，无论从洁净室还是零部件供应看，到2028年都不太支持超出现有规划的产出。

Q:De Run扩建是否已经完成？BIC North新园区大概何时能够投入使用？

A:De Run扩建应该已于2026年完成，产能已经开始释放，2027年应该能够全部释放并用满。北区的BIC North园区最近才开始动工，完工还需要一年多到两年，基本要到2027年或2028年，可能到2028年才会正式投入使用，属于更远期的规划。

Q:是否可以理解为，到2028年的EUV产能将跟随De Run和BIC North两处洁净室的建设进度推进？

A:可以这样理解。没有洁净室就很难继续增加产出，公司也不太可能完全牺牲DUV产能。如果客户确实有急单或需求非常紧迫，可以通过支付额外费用插队，提前完成交机。这种情况下可能会挤占部分DUV资源，甚至将DUV的一部分洁净室调配给EUV使用；如果只是正常排单，通常不会这样做。

Q:到2028年约110台EUV的产能，供应链配套基本没有问题，主要按照洁净室建设规划逐步释放，对吗？

A:是的。BIC North规划规模更大，但截至2028年，两处园区合计应该只能支持约110台。此后仍有提升空间，因为BIC North还可以继续扩建，但具体要看后续订单。另一个限制是ASML本部所在的费尔德霍芬并非基础设施非常发达的大城市，而是一座规模较小的城市。洁净室建设还要考虑电网以及水、电、气等基础设施的负荷能力，这些属于政府基础设施，不完全由公司决定，也会形成制约。

Q:考虑零部件配套、洁净室建设、人员引入和培训等因素，到2028年进一步上修EUV产能的空间是否已经不大？

A:是的，100台或120台可能实现，但直接提升到150台就比较困难。无论洁净室还是人力都不太支持。装配工程师的培训周期最短也要1年，一台机器的装配周期约为3个月，意味着1年接触4台设备:第一台用于学习，第二台尝试上手，第三台进行quali fication，第四台才能在某个装配工序独立作业。这个周期至少需要1年，实际通常只会更长。即使目前大力招聘，也存在人员能否招满、能否全部培训到岗并投入使用等变数。

Q:如果2028年做到约120台，这是否已经接近极限产能？

A:是的，130台已经是非常乐观的预计。正常情况下，约110台应该较为合理，而且达到110台应当没有太大问题。

Q:High-NA EUV的产能情况如何？由于设备和光学系统更大，其对洁净室面积的要求是否也更高？

A:由于光学系统和机台本身都变大，High-NA EUV对洁净室的需求确实高于普通Low-NA EUV。但目前使用High-NA EUV的客户较少，大部分仍处于demo或实验使用阶段，每家客户暂时交付1到2台基本就能满足需求。High-NA EUV对应EXE platform，目前尚未进入放量阶段。当前全球数量可能只有约10台或略低，因此现阶段无需过多考虑产能瓶颈或供应链问题。真正大量采购的主要是英特尔，此前购买约6台，交付用了将近2年；台积电、三星、海力士目前基本都是单台demo机。

这些客户要将机台运行稳定并确认可以正常使用，可能要到2028年或更晚，之后才会评估是否值得大批量购买。如果High-NA EUV真正大规模放量，可能也要依赖BIC North园区，那里或将成为主力生产基地；现有基地应该已经没有太多空间。

Q:有新闻称，面向三星、海力士等韩国客户的设备零部件价格将整体上涨约10%。此前通常是在某个零部件采购困难时单独调价，这次全面调价应如何理解？是否反映了行业供需或成本变化？

A:主要还是因为当前行业景气度较高。不只是ASML，其他设备商也都在提价，包括整机和零部件。零部件并没有短缺到特别严重的程度，价格上涨更多反映供需关系。正常情况下，如果供需关系反转，设备打折也有可能。因此，这更像现阶段的一种销售策略，即在行情较好时增加利润。三星、海力士等大客户面对约10%的零部件涨价，也可能从其他方面争取补偿，例如增加服务工程师、延长服务时间或增加服务人员。客户不会在没有谈判的情况下完全接受涨价。

Q:台积电、英特尔等客户的涨价情况如何？

A:台积电没有涨价。此前曾向台积电提出涨价，但台积电没有同意，后来便不了了之。英特尔的情况可能与三星、海力士接近，涨价后应该会接受。ASML还有先进封装设备，主要用户也是台积电，并希望借助与台积电的合作打开先进封装市场，因此整机不涨价也可以接受。按照以往销售策略，台积电采购光刻机的价格通常低于其他客户。对台积电现有机台涨价基本没有可能，后续新机可以重新协商价格，但已经锚定的价格很难调整。

Q:除零部件外，整机设备是否也会对三星、海力士等客户涨价？

A:这取决于具体客户。中国区今年的官方价格上涨了约10%，执行得相对充分。公司对外有官方售价，但每家大客户会根据采购数量获得不同折扣，这些折扣不会公开。因此，各客户实际取得的价格并不相同。即使官方宣称上涨10%，三星、海力士的实际涨幅可能只有7%到8%；中国区可能更接近按官方幅度执行；台积电则可能仍获得约九折的价格。最终成交价格始终取决于具体客户。

Q:三星、海力士实际约7%到8%的涨幅已经发生，还是后续订单才会执行？

A:今年新下的Purchase Order均已涨价。2024年或2025年下单、今年交付的设备仍按此前订单价格执行；今年上半年海力士投入大量韩元购买EUV所下的订单，则已经采用涨价后的价格。这批订单的实际涨幅约为7%到8%。

Q:明年是否还会在目前价格基础上进一步涨价？

A:这取决于整体行情。如果行业景气度仍然很高，涨价应该不会只有ASML一家，可能是几家主要设备商共同涨价。一家先提价后，其他厂商可能会跟进。因此，不必只关注ASML，也可以观察其他设备商的动作。

Q:这轮涨价只针对EUV，还是全系列设备都会涨价？

A:全系列设备都涨价，不仅是EUV，浸没式设备以及KrF等产品也会涨价。

Q:能否概括2026年新下Purchase Order中，中国客户、三星和海力士、台积电、英特尔及美光的涨价差异？

A:中国区约上涨10%；三星、海力士的实际涨幅约为7%到8%；台积电不涨，可能仍按原有折扣执行；英特尔与三星、海力士接近；美光与三星、海力士也基本相同。台积电比较特殊。2022年行业周期处于底部、EUV销售不佳时，台积电仍持续大批量采购EU V，是非常稳定的长期客户。公司销售策略相较于单次涨价，更看重长期销售的稳定性，而且EUV产能大约有一半由台积电消化，因此台积电具有较强话语权。

Q:安装调试及服务费方面，原本预期约25亿美元，实际约28亿美元。后续应如何展望？这是否与零部件涨价及设备保有量上升直接相关？

A:两者有直接关系。零部件涨价会贡献一部分收入；随着交付设备增加，机台保有量也会持续上升。机台保有量提升后，每年的服务费收入会稳步增长。

Q:如果客户急于完成机台安装调试，是否可以通过加价获得更快的装机服务？

A:可以提供这种服务。例如，正常交期是2个月，而客户希望在1个月内完成，公司可以提供快速装机服务。客户支付额外费用即可购买，具体做法是增加工程师人数。

Q:快速装机服务一般按什么方式收费？

A:主要按工程师人数收费。EUV的情况暂不确定，以DUV为例，正常装机配置为2名工程师、两班倒，公司向客户收取2名工程师的人头费或安装费。如果客户要求加快，就可能将工程师增加至3名或4名，装机速度也会相应提高，此时按照实际人数收费，例如收取4名工程师的费用。早期安装1965等机台时，费用大约为每名工程师每月100万元；如果客户要求加速，就在此基础上按照增加的人数加收费用。

Q:从行业需求和商业模式看，售后服务费是否是一项较稳定、较重要的收入？ASML与其他设备商相比有何差异？

A:这部分属于质量较好且较为特殊的现金流。在光学设备领域，无论ASML还是KLA，售后服务收入都占据较重要的位置。专家印象中，目前这一业务可能占整体营收约30%。

Lam Research、Applied Materials等公司的售后服务收入占比相对不高。许多工艺设备在质保期结束后，客户不会继续购买原厂维保服务，因为日常维护可能只是更换密封圈或其他易耗件，不一定需要原厂服务。因此，ASML和KLA在售后服务方面较有优势，也较为特殊；Applied Materials或Lam Research的设备在1年或2年质保期结束后，客户购买原厂售后服务的情况相对较少。

Q:未来两年服务收入占比是否还会继续提高？

A:随着时间推移和设备保有量增加，服务收入占比会逐步提高。早期约为20%，目前基本达到30%，后续每年提高1到2个百分点也是合理的。

Q:从全球晶圆厂和存储原厂看，目前拉货节奏如何？各客户的EUV、DUV交付结构大概是什么样？

A:今年EUV无论按60台还是65台计算，最大客户都是台积电，约30台交付给台积电。剩余约30台的主要增量客户是三星、海力士和美光，由这3家分配。英特尔目前应该仍以此前交付的High-NA EUV为主，其美国晶圆厂暂时没有多少Low-NA EUV设备；英特尔在爱尔兰拥有Low-NA EUV晶圆厂，现有设备保有量暂时能够满足需求。因此，Low-NA EUV大致是一半交付给台积电，另一半由三星、海力士、美光等存储客户分配。今年约60台应该都能完成交付。

DUV方面，第三季度可能交付40到50台，其中中国区约20台。全年约130台DUV中，中国区可能占50多台到60台，接近一半，其余交付海外客户。海外DUV与EUV大致按1:1的比例销售，这种配比也比较合理。

Q:今年第三季度全球EUV具体出货量大约是多少？这些设备分别交付给了哪些客户？

A:如果全年约60台并平均分配，每季度约占20%；但上半年整体交付偏少，第三、第四季度交付较多，因此第三季度可能交付约25台。具体交付给哪些客户暂不掌握，无法给出非常精确的答案。约25台指全球第三季度的交付量。

Q:今年中国区约55到60台浸没式设备的客户结构大概是什么样？

A:按约60台计算，最大客户是HH公司。其上海六厂、八厂今年约占19到20台。北京相关客户约12台，燕东微约5台，累计约37台；临港东方约10台，累计约47台；CX公司上海项目下半年开始导入，约12台，合计约59台，基本接近60台。今年主要是这些客户，其他采购TWINSCAN NXT:1980及以上型号的客户基本没有。

CJ公司等客户此前采购的可能主要是1965或XT:1950等稍低端设备，一方面受合规限制，另一方面可能是在进行产线升级换代:将1965等设备作为主力生产机型，释放原有TWINSCAN NXT:1980或2050的产能，用于生产更高规格的NAND，或者为DRAM生产提供支持。

Q:浸没式设备增量主要来自海外EUV配套需求，还是中国区需求超预期？中国与海外哪一部分贡献更大？

A:从数量看，中国区和海外大概各占一半，海外可能略多一些。中国客户实际上希望采购更多浸没式光刻机，资金也不是问题，但公司销售层面需要保持平衡，对中国区浸没式光刻机的出口存在一定限制。因此，即使部分中国客户希望采购更多，实际也无法获得更多设备，最终中国区大约就是60台。

如果从紧缺程度和迫切性看，中国区需求更紧，因为中国客户需要将浸没式设备作为主力生产机型，没有TWINSCAN NXT:1980就很难扩产。海外情况不同，三星、海力士等客户拥有大量TWINSCAN NXT:1980，1980R或1970等老设备。即使无法采购更多DUV，只要能够采购EUV，也可以通过产线升级生产HBM4E等产品，但这样会牺牲一部分DDR产能，这是这些客户不愿意做的。因此，海外客户也会采购浸没式DUV，以便在保留现有DDR产能的情况下进一步扩产。

Q:如果明年中国区浸没式设备交付达到约70台，是否意味着客户需求高于今年的60台？

A:关键在于设备能否销售至中国区。要看荷兰方面在整体产量增加后，是否仍会按比例增加对中国区的供应，目前没有人能够保证。战略优先级仍然是EUV最高，其次是海外大客户。中国区虽然是重要市场，但优先级没有那么高。专家认为60台肯定可以保持，70台也可以展望，但80台的可能性不大。

Q:明年中国区的主要客户群会发生什么变化？

A:明年合肥CX公司项目的需求会增长，预计有20多台到30台，可能成为明年最大客户。逻辑客户的采购可能略有放缓，因为ZX公司系、HH公司系近两年刚完成新产线建设，从明年开始需要提升产线、良率和产能，设备采购可能暂时放缓。另一方面，H公司系逻辑厂在2024年、2025年完成产线建设，今年开始封闭量产；如果产能和产量顺利提升，明年可能进入下一步扩产。

因此，ZX公司系和HH公司系可能减少采购，但H公司系可能补充这部分需求。加之存储客户对光刻机的需求远高于逻辑客户，整体采购量应该比今年略有增加。前提是项目进展顺利；如果出现新的制裁等情况，则无法确定。

Q:特斯拉Terafab目前的产能规划是什么？其与英特尔、台积电的合作模式如何，未来对光刻机需求会产生多大拉动？

A:专家仅有大致了解。Terafab目前尚未建成晶圆厂厂房，仍处于早期土建阶段，这个项目也是今年才出现相关消息。土建完成可能要到明年年底或后年，设备采购目前不会太快，可能仅处于早期洽谈阶段，真正下达Purchase Order可能要到2028年或2029年。因此，该项目对现有产能分配没有实际影响。即使特斯拉采购光刻机，也同样需要排单。

特斯拉与英特尔的合作主要是工艺合作，可能基于英特尔14A工艺开发汽车芯片或算力芯片。与台积电的合作情况暂不明确，可能是将原本在台积电的部分订单转到美国本土，并建设相应产线。但台积电是否愿意提供工艺会是一个问题，晶圆厂通常不愿分享自身的核心工艺能力，因此合作面临较多阻力。台积电也不像英特尔一样属于美国本土公司，双方可能存在分歧。

如果Terafab计划采用不同于现有EUV或DUV的光刻路线，就可能需要开发新的光刻工艺，也存在不采购ASML EUV的可能。总体而言，该项目目前更多停留在纸面或早期洽谈阶段，还不能视为已经进入实质推进的晶圆厂项目。即使未来采购ASML EUV，交期也可能已到2030年以后，不确定性很大。

Q:如果某存储厂明年采购约30台浸没式设备，大概对应多少晶圆产能？

A:按当前主流DDR5测算，30台设备理论上可以支持约15万片产能，即每台约5,000片。若用于HBM，具体产出还取决于堆叠多少片DDR。15万片是理论理想值，实际值肯定会低一些。

Q:关于混合键合相关设备的进展，能否介绍其良率和推出时间？

A:如果指基于XG260机台的混合键合设备，相关情况了解得比较有限，因此无法回答具体的良率和推出时间。

Q:如果公司调整未来产能规划，更可能在季度交流会还是投资者日披露？这两类交流还有哪些值得市场期待和关注的内容？

A:暂时应该不会调整。按照公司的惯常风格，产能规划一旦已经给出口径，就不太会轻易改变。后续需要观察BIC North新厂房扩建及土建完成后的进一步规划。现有规划应该不会大幅变化，即使EUV非常紧缺或需求超预期，专家个人也认为不会有太大调整。

Q:BIC North场地较大，2028年以后是否仍会有更多场地分配给EUV生产？

A:BIC North使用的是全新土地，仅从土地面积看，其扩展空间比本部更大。本部周边已经没有多少扩展空间，而北区仍可继续扩建。但本期建成后是否继续扩张，要看届时的业务和订单情况，可能要到2028年才能判断。公司整体扩产比较保守，也担心产能过剩；如果招聘和培养大量人员后没有订单，会拖累现金流和公司业绩，因此需要等这一期建设完成后再观察。

Q:High-NA EUV和Low-NA EUV光刻机目前的单价大约是什么水平？

A:Low-NA EUV目前约为2.2亿到2.4亿，High-NA EUV接近4亿，专家记忆中约为3.8亿。但这只是对外售价。对于台积电这样的客户，首批设备甚至可能以免费试用的方式提供；三星、海力士等客户的第一台设备也可能按成本价销售。后续大批量供货时，应该会形成新的价格。Low-NA EUV的价格相对更接近正常成交价格。

Q:TWINSCAN NXT:1980浸没式光刻机的成交价格大约是多少？

A:TWINSCAN NXT:1980的成交价格大约在8,000万元到1.1亿元之间，具体取决于配置。海外客户或台积电可能获得接近8,000万元的低价，中国客户的成交价可能在9,000万元到1亿元之间，最终仍取决于具体客户。

Q:目前浸没式设备中，TWINSCAN NXT:1980是否仍是出货最多的型号？

A:对中国市场而言，TWINSCAN NXT:1980出货最多；海外目前的主流型号是2050和2100，客户也可以采购2100。2100的套刻精度优于TWINSCAN NXT:1980，因此价格也更高。

Q:2100及更新型号的价格大约是多少？

A:价格可能在1.2亿元到1.5亿元之间。目前最新型号可能已经达到2150。此前2110约为1.2亿元，销售给中国CX公司时，专家记忆中的价格大约为1.4亿元到1.5亿元。

Q:2100及以上型号在中国市场的保有量大约是多少？

A:中国市场的保有量大约只有5台。后来许可证不再发放，2000以上型号基本无法继续进入中国市场，因此这些设备属于现有的少量存量。

Q:Low-NA EUV官方价格约为2.2亿到2.4亿，三星、海力士实际上涨7%到8%后的价格，是否已经体现在今年新下的Purchase Order中？

A:是的，已经体现在今年新下的Purchase Order中。

以上仅供交流探讨，不构成投资建议